活動レポート

2018年度活動レポート(一般公募コース)第244号

ラオス国立大学の学生が最先端クリーンルームで微細化工を体験

大阪府立大学研究推進機構からの報告

 さくらサイエンスプランにより、研究推進機構放射線研究センターを中心に、ラオス国立大学より学部生8名および教員2名を招へいし、2018年10月1日より10月6日までの6日間、交流プログラムを実施し、講義、実習、見学他の活動を行ないました。

<1日目>

 台風のため朝まで関西国際空港が閉鎖されていましたが、一行は昼前に無事到着しました。午後大学に到着後、辻󠄀洋学長を表敬訪問しました。その後、本学教員、学生との交流会を行ないました。

写真1 学長室表敬訪問

<2日目>

 午前に講義を受講し、微細加工とその応用例、また微細加工方法の基礎について学びました。その後、山手丈至研究推進機構長を表敬訪問しました。昼休みに、大学キャンパスに隣接する「ニサンザイ古墳」を見学しました。この古墳は大きさ全国7位のものです。午後には実習を行い、実際にクリーンルーム(クラス10)にて、フォトリソグラフィーを体験し、シリコン基板上に幅数十マイクロ・メートルの細線等を描画しました。

<3日目>

 午前に講義を受講し、放射線に関する基本的な知識を学びました。午後には線源棟見学を行い、全国の大学でも有数のガンマ線照射施設を見学し、水中に置かれたコバルト60線源によるチェレンコフ光を観察しました。また電子線加速器施設も見学しました。その後、実際にアルファ線、ベータ線の軌跡を観測する実習を行ないました。

<4日目>

 午前に講義を受講し、低温研究の歴史と超伝導の基礎を学んで、液体窒素で冷却された超伝導体の上に磁石が浮上するのを見学しました。

写真2 超伝導体による磁石の浮上実験

 午後には実習で再びクリーンルームに入室し、実習1で描画した細線についてイオンビーム加工を行なった後、走査型電子顕微鏡およびデジタル顕微鏡により観察を行ないました。夕方に行なわれた本学教員、学生との交流会には石井実副学長も参加されました。

写真3 イオンビーム装置への試料セット
写真4 デジタル顕微鏡による加工試料の観察

<5日目>

 午前に大阪大学豊中キャンパスに移動し、世界でも有数の装置を有する先端強磁場科学研究センターを見学しました。センター長 萩原政幸教授から設備・装置の説明と強磁場を用いた最先端の研究内容について説明していただきました。午後に大阪市内に移動し、大阪歴史博物館を見学しました。その後、修了式を行ないました。

写真5 大阪大学先端強磁場科学研究センターの見学

<6日目>

 午前、関西空港に移動し帰国の途につきました。台風が接近中でしたが、無事到着との連絡を受け安心しました。

 本プログラムにより、全国の大学でも有数の清浄度を有するクリーンルーム施設での細線描画を体験し、エレクトロニクス産業の基盤となる技術にふれてもらうことができました。また本学学生、スタッフの暖かいサポートもあって、日本に好印象をもって帰国してもらうことができました。

 ご協力いただいた、萩原政幸センター長はじめ大阪大学先端強磁場科学研究センターの皆様に感謝いたします。

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